薄膜厚度計的種類
?薄膜厚度計可分為接觸式、非接觸式、截面觀察式三種類型。
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1.接觸式薄膜測厚儀
接觸式膜厚計通過電纜連接傳感器和測量儀主體，使傳感器接觸被測物體來測量膜厚。接觸式膜厚計有電磁感應式、渦流式、超聲波式和觸針式三種類型。這是最傳統的膜厚計類型，根據性能不同，售價在數萬日元到20萬日元之間。
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接觸式涂層測厚儀使用方便；只需將傳感器放置在待測材料上，即可顯示讀數。然而，其反應速度因材料而異，因此您可能需要等待幾秒鐘才能讓傳感器做出反應。使用電磁感應和渦流接觸式涂層測厚儀時，您需要根據待測材料的基材類型選擇合適的型號。
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電磁感應式用于測量鐵、鋼等磁性材料，渦流式用于測量鋁、不銹鋼等非磁性材料。此外，還有可同時測量兩種方法的雙通道型，其中雙通道型可同時測量磁性材料和非磁性材料。
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2.非接觸式薄膜測厚儀
非接觸式薄膜測厚儀通過從測厚儀本體發射光線，檢測從薄膜表面反射的光與穿透薄膜的光的波長干涉，并以光譜的形式測量薄膜厚度。主要用于人眼難以觸及的場所，有反射光譜式、紅外線式、靜電電容式、放射線式等。由于檢測部分使用高精度半導體元件，因此價格比接觸式更高。
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3. 截面觀察膜厚儀
截面觀察型膜厚計是TEM、SEM等電子顯微鏡的升級版，用于測量接觸式或非接觸式無法測量的極小物質。然而，它們通常用于研究和技術開發，在實際應用中很少使用。